تحقیق در مورد یون گیری واکنشی يون گيري واكنشي- PECVD- Ashing- پراكنده كردن مايعات- شيمي پلاسمايي- فيزيك پلاسما- عكس العمل سطوح نسبت به يكديگر سخنران: Herbert H.Sawin پروفسور مهندسي شيمي و مهندسي برق و علوم كامپيوتر از مؤسسه علم و صنعت ماساچوست (MIT)، شهر كمبريج، MA